ГлавнаяО компании Продукция Технологии ЦеныКонтакты
Производство и разработка вакуумного оборудования
Мы в соц. сетях
Наш телефон
8(800)222-90-33
с 10 до 19 часов по МСК
Электронная почта

Написать нам

Установка вакуумного напыления Saha

Область применения: лаборатории, мелкосерийное производство.
Тип вакуумной камеры – цилиндр с возмож- ностью вертикального перемещения.
Напыление: снизу-вверх.
Оснастка: карусельный держатель подложек.
Технологические устройства: магнетроны, терморезистивные испарители.

Задать вопрос специалисту
Установка Saha
Установка вакуумного напыленияВакуумная камераУниверсальный вакуумный постВакуумная установкаВакуумные исследовательские установкиВакуумная станцияКомплектующие производства
Всегда готовы помочь

Установка вакуумного напыления Saha в Самаре

Установка вакуумного напыления Saha в Самаре

Установка вакуумного напыления Saha предназначена для создания малогабаритного напылительного оборудования. Установки, построенные на данной платформе, предназначены для использования в лабораториях и на мелкосерийном производстве. Ключевой особенностью данной платформы является размещение подложек и технологических устройств внутри вакуумной камеры, при котором значительно упрощается технологическое обслуживание и загрузка-выгрузка. Данное решение реализовано с помощью цилиндрической вакуумной камеры колпакового типа, перемещаемой вертикально вдоль своей оси.

Преимущества

  • Полный всесторонний доступ к напылительным устройствам и подложкам.
  • Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304.
  • Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки.
  • Использование только «сухих» вакуумных насосов: спиральный и турбомолекулярный.
  • Возможность использования нескольких технологических устройств: магнетрон, электронно-лучевая распылительная система, резистивное термическое испарение.
  • Гибкость при модернизации установки.

Опционально возможно несколько вариантов расположения подложек: на плоском горизонтальном держателе, на цилиндрической оснастке. В зависимости от расположения подложек и подложкодержателя выбирается форма и размер технологических устройств. В случае горизонтального подложкодержателя технологические устройства располагаются на нижнем фланце камеры. Напыление реализуется по схеме «снизу вверх». При размещении в цилиндрической оснастке подложки располагаются вертикально. В этом случае напыление осуществляется только планарными магнетронами размещённым вдоль оси цилиндра.

Установка вакуумного напыления Saha в Самаре Установка вакуумного напыления Saha в Самаре Установка вакуумного напыления Saha в Самаре

Размеры вакуумной камеры зависят от размера и количества одновременно обрабатываемых подложек, а также от их расположения. В соответствие с выбранной конфигурацией диаметр вакуумной камеры может быть от 250 мм до 600 мм.

При использовании цилиндрических торцевых магнетронов возможно распыление диэлектриков в высокочастотном режиме при частоте 13,56 МГц. Также возможно распыление ферромагнетиков магнетронами с усиленной магнитной системой.

Области применения

  • Электроника
  • Оптическое производство
  • Научные исследования
Установка вакуумного напыления Saha в Самаре Установка вакуумного напыления Saha в Самаре

Лабораторная напылительная установка на платформе Saha

Рис.1. Напыление по схеме «снизу-вверх». Плоские цилиндрические магнетроны.

Рис.2. Горизонтальное размещение подложек. Планарные протяжённые магнетроны.

ОСТАЛИСЬ ВОПРОСЫ ИЛИ НУЖНА КОНСУЛЬТАЦИЯ?
Оставьте свой вопрос или позвоните нам по телефону, и мы с удовольствием проконсультируем Вас.
Наши партнеры
ООО «Рефлакс»

ООО «Рефлакс» предлагает Вам широкий ассортимент высокоэффективных и экономичных газоразрядных ламп высокого давления собственного производства

www.reflux.ru
ЗАО «ИНТЕК АНАЛИТИКА»
Поставка вакуумного и криогенного оборудования с сопутствующими услугами (расчет вакуумных
систем, пуско-наладка, сервисное обслуживание)
www.intech-group.ru
Busch Vacuum Pumps and Systems
Компания Busch Vacuum Pumps and Systems является одним из самых крупных производителей
вакуумных насосов, воздуходувок и компрессоров в мире.
www.buschvacuum.com
Адыгея Республика
Алтайский Край
Амурская Область
Амурская область
Архангельская Область
Астраханская Область
Башкортостан Республика
Белгородская Область
Брянская Область
Бурятия Республика
Владимирская Область
Волгоградская Область
Вологодская Область
Воронежская Область
Дагестан Республика
Еврейская Автономная область
Забайкальский Край
Ивановская Область
Иркутская Область
Калининградская Область
Калужская Область
Камчатский Край
Карелия Республика
Кемеровская Область
Кировская Область
Кировская область
Костромская Область
Краснодарский Край
Красноярский Край
Крым
Курская Область
Ленинградская Область
Липецкая Область
Марий Эл Республика
Московская Область
Московская область
Нижегородская Область
Новгородская Область
Новосибирская Область
Омская Область
Оренбургская Область
Орловская Область
Пензенская Область
Пермский Край
Приморский Край
Ростовская Область
Рязанская Область
Самарская Область
Саратовская Область
Саха /Якутия/ Республика
Сахалинская Область
Свердловская Область
Ставропольский Край
Татарстан Республика
Тверская Область
Томская Область
Тульская Область
Удмуртская Республика
Ульяновская Область
Хабаровский Край
Хакасия Республика
Чеченская Республика
Чувашская Республика - Чувашия
Ярославская Область

Установка вакуумного напыления Saha в Самаре

Установка вакуумного напыления (УВН) Saha в Самаре, Самарская Область, от дистрибьютора «Дана Инжиниринг». Предлагаем оснащение лабораторных исследований и мелкосерийной промышленности. Цилиндрическая камера с технологией вертикального напыления. Продуманная система загрузки-выгрузки и технического обслуживания за счёт полноценного доступа к подложкам. Часто применяются в области электроники и оптического приборостроения. Получите консультацию от специалиста «Дана Инжиниринг» и узнайте подробнее, как купить установку вакуумного напыления Saha, и о ценах на продукцию по номеру телефона 8(800)222-90-33.
Контакты
ООО «Дана Инжиниринг»
Производство и разработка вакуумного оборудования
ПН-ПТ: 10:00-19:00
СБ-ВС: Выходной
111524 Россия Московская область
Москва ул. Перовская, д.1, стр.22

2024, Разработано в