Установка вакуумного напыления Kurchatov

Установка вакуумного напыления Kurchatov в Самаре

Установка вакуумного напыления Kurchatov предназначена для создания высокопроизводительного напылительного оборудования. Установки, построенные на данной платформе, предназначены для использования на в серийном и крупносерийном производстве.

Ключевой особенностью данной платформы является размещение технологических устройств на боковых стенках вакуумной камеры в специальных откидывающихся отсеках, при котором значительно упрощается смена мишеней и обслуживание технологических устройств. Подложки располагаются на плоском подложкодержателе, который перемещается в технологической камере по принципу конвейера. Установки на данной платформе строятся по модульному принципу: технологические и вспомогательные камеры набираются в зависимости от технологии производства.

Преимущества

• Высокая производительность
• Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304
• Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки
• Возможность использования нескольких технологических устройств: магнетрон, вакуумно-дуговой испаритель.
• Гибкость при модернизации установки

В установках платформы Kurchatov используются магнетроны, вакуумно-дуговые испарители и ионные источники протяжённой геометрии. Катоды технологических устройств выполняются как плоскими, так и цилиндрическими.

Предусмотрен нагрев подложек на всём пути их следования: от шлюзовой камеры до конца технологической.

Габариты вакуумной камеры зависят от размера зоны равномерности напыления на подложку. В зависимости от размеров технологических устройств выбираются способы контроля и управления равномерностью напыления.

Наносимые покрытия: металлы, оксиды, нитриды, карбиды. Также возможно распыление ферромагнетиков магнетронами с усиленной магнитной системой.

Области применения

• машиностроение
• декоративное производство
• приборостроение
• оптика
• микроэлектроника

Установка вакуумного напыления Kurchatov Задать вопрос

Технические характеристики: Расположение подложки: горизонтальное/вертикальное. Шлюз загрузки-выгрузки; Линейная установка конвейерного типа, равномерность напыления 0,5% от толщины покрытия по всей площади подложки. Область применения: Напыление на плоские подложки большой площади. Цена: по запросу Звоните по т. 8(800)222-90-33, либо отправляйте заявку, и мы подберем решение для Вашего производства!

ОСТАЛИСЬ ВОПРОСЫ ИЛИ НУЖНА КОНСУЛЬТАЦИЯ?

Оставьте свой вопрос или позвоните нам по телефону, и мы с удовольствием проконсультируем Вас.

8(800)222-90-33

info@danaeng.ru

Задать вопрос